干涉儀 ：根據(jù)光的干涉原理制成的種儀器。將來自個(gè)光源的兩個(gè)光束分并，各自經(jīng)過不同的光程，然后再經(jīng)過合并，可顯出干涉條紋。在光譜學(xué)中，應(yīng)用的邁克爾遜干涉儀可以準(zhǔn)確而詳細(xì)地測(cè)定譜線的波長(zhǎng)及其細(xì)結(jié)構(gòu)。

維護(hù)

1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動(dòng)，儀器搬動(dòng) 時(shí)，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形。

2、光學(xué)零件不用時(shí)，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡般不允許擦拭，擦拭時(shí)，須用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花滴上酒和混合液輕拭。

3、傳動(dòng)件應(yīng)有良好的潤(rùn)滑。別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔分，應(yīng)用T5儀表油潤(rùn)滑。

4、使用時(shí)，各調(diào)整位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。

5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。

6、 經(jīng)過調(diào)整的儀器件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng)。

應(yīng)用

（1）幾何度檢測(cè) 可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。

（2）位置度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位度、重復(fù)定位度、微量位移度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差，而且還能通過RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可zui大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到*度，另外操作者具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。

目前，可供選擇的補(bǔ)償軟件有Fanuc,Siemens 800系列，UNM，Mazak,Mitsubishi,Cincinnati Acramatic,Heidenhain, Bosch, Allen-Bradley。

（3）數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)意角度位置，以意角度間隔行自動(dòng)測(cè)量，其度達(dá)±1。新的際標(biāo)準(zhǔn)已使用該項(xiàng)新。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間，而且還得到整的回轉(zhuǎn)軸度曲線，知曉其度的每細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。

（4）雙軸定位度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床，由雙伺服驅(qū)動(dòng)某軸向運(yùn)動(dòng)的定位度，而且還能通過RS232接口，自動(dòng)對(duì)兩軸線性誤差分別行補(bǔ)償。

（5）數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測(cè) 利用RENISHAW動(dòng)態(tài)性測(cè)量與評(píng)估軟件，可用激光干涉儀行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)性（低速爬行）分析等